Vörulýsing
Silicon nítríðÞunnar kvikmyndir hafa þéttan uppbyggingu, mikla styrk og góða slitþol og er hægt að nota þær sem burðarvirki í MEMS tækjum. Stuðull og hörku kísilnítríðmyndanna var prófaður með PECVD aðferðinni og áhrif útfellingarhitastigs og viðbragðs gasflæðishlutfalls á stuðul ungs og hörku myndanna voru greind. Kísilnítríðfilm var notuð sem fjöðrunargeisli til að búa til RF MEMS rofa.
Vörubreytur
| Bekk | N | Si | CA mín | O mín | C mín | Al mín | Fe mín |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
Vörusamvinnu mynd
1.Silicon nítríðKeramik er háhitastig og hástyrkur byggingarkeramik með víðtækum þróunarhorfur. Það hefur mikla afköst (svo sem mikill styrk, góður hitauppstreymi stöðugleiki, mikil þreyta hörku, mikill sveigjanleiki við stofuhita, slitþol, oxunarþol, tæringarþol osfrv.) Og hefur verið mikið notað í öllum lífsmálum. Undirbúningsaðferðir kísilnítríðs fela aðallega í sér viðbragðs sintering (RS), heitan þrýsting sintrun (HPS), andrúmsloftsþrýstingsspennu (PLS) og pneumatic þrýstings sintering (GPS). Sem stendur er aðal vandamálið að kísilnítríð keramikvörur hafa litla hörku og mikla kostnað. Í framtíðinni er nauðsynlegt að bæta mölun, mótun og sintrunarferli og samsetningu kísilnítríðs og kísilkarbíðs til að þróa betri kísilnítríð keramik.
maq per Qat: High Level Metal Silicon Nitride, Kína High Level Metal Silicon Nitride Framleiðendur, birgjar, verksmiðja