High Level Metal Silicon Metal 551

Aðferð til að framleiða hálfleiðara tæki, hálfleiðara tækið samanstendur af hálfleiðara líkama með yfirborði, yfirborðið er við hliðina á kísilsvæðinu og einangrunarefnasvæðinu, hvert kísilsvæði er með topplag afSilicon Metal 551, málmurinn er settur á yfirborð hálfleiðara líkamans og síðan er hálfleiðari líkaminn hitaður að hitastigi myndunar málm kísils í útfellingarferlinu. Það sem er afhent er kóbalt og nikkel, og þá er hálfleiðandi líkaminn hitaður að hitastigi þar sem kóbalt eða nikkel kísill myndast. Til að forðast vöxt málm kísilefna í hverjum hluta einangrunarefnisins við hliðina á hverju kísilsvæði.

1.Til að draga úr erfiðleikum við eftirfylgniSilicon Metal 551Picking, kísilmálmurinn var hreinsaður á grundvelli þroskaðs súrsunartækni í stofuhita og nýju blautu súrefnisoxunartækni. Meginhlutverk súrsunar er að fjarlægja flest málm óhreinindi sem eru útsett á yfirborði kísilmálmagnir; Eftir oxun blauts súrefnis dreifist bórinn með litlum storkutuðul (storkutuðull í kísil- og kísilkerfum) í agnirnar í kísil við háan hita og tærast síðan til að fjarlægja oxíðlagið og óhreinindi í því. Tilraunir sýna að aðferðin hefur augljós hreinsunaráhrif á óhreinindi Boron og innihald bór óhreininda er allt að 4 × 10-6.

maq per Qat: High Level Metal Silicon Metal 551, Kína High Level Metal Silicon Metal 551 Framleiðendur, birgjar, verksmiðja